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基 本 知 识
1.单位计算
电流:1A(安培)=1000mA(毫安)
压强:1Torr(托)=133Pa(帕)
电压:1KV(千伏)=1000V(伏特) 1V(伏特)=1000mV(毫伏)
长度:1m(米)=1000mm(毫米)=100000丝=***μm(微米)=***00nm(纳米)=***000?(埃
频率:1MHz(兆赫兹)=10 *6 Hz(赫兹)
2.镀膜相关知识
2.1镀膜机分为:1泵:抽真空系统、2枪:蒸发系统、3控:膜厚控制系统、4杂:辅助系统(加热系统、充氧系统、防污板)
2.2真空计可分为:电阻式真空计、电离规真空计
2.3离子辅助IAD原理:IAD技术是在电子束蒸发的同时用离子束轰击,离子由离子源产生,离子束由栅极引出,电子枪和离子源各自独立工作。膜层在离子的轰击作用下获得能量,使结构得到改善。
3.光学相关知识
3.1光学低通滤波器(OLPF)在整机的作用:它是使通过数码相机的或数码摄象机镜头后的光滤去其高频波段,只让一定范围内的低频光波通过频率控制器件,对于高像素的的CCD或CMOS图象传感器 内容过长,仅展示头部和尾部部分文字预览,全文请查看图片预览。 。具有结构简单、无机械运动部件,操作方便,使用寿命长,高可靠性和维修方便等特点。
凸腔泵体是将直筒形泵体变为局部鼓形凸腔泵体,即可以在不增加泵口尺寸的情况下,使抽速得到较大的提高。例如:K—500,抽速为8000L/S,而TK—500,抽速为10000L/S。工作原理
6.罗某某的工作原理
6.1罗某某是一种双转子的容积式真空泵.其抽气过程如图如示,在泵内有两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝反方向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触,转子与泵腔壁也无接触,其间通常有0.15-1.0m m的间隙,泵腔靠间隙来密封。由于罗某某泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般为1500-3000r/mm,而且不必用油润,可实现无油清洁的抽气过程;泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮,以及动密封处;泵没有往复运动部件,故可实现良好的动平衡;因而,罗某某运转平稳,转速高,尺寸小可获得大的抽速。此泵一般将用作扩散泵的前级泵。
7.机械泵示意图
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