温湿度及颗粒管控规定
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温湿度及颗粒管控规定
1.0 目的
建立温湿度管控方法及异常处理流程，避免原物料、产品、设备发生质量问题。
2.0 范围
适用于全厂生产、原物料库、成品库区域。
3.0 定义
无
4.0 相关文件
5.0 责任
5.1环境监控及异常通知单位：质量。
5.2环境维护单位：厂务。
6.0 程序内容
6.1温湿度管控要求
6.1.1 CP、FT、成品库、氮气柜各区环境要求参照下表。
区域
温度
湿度
监控设备
检查频度
警戒界限
规格界限
警戒界限
规格界限
CP、FT测试区
22±2℃
22±3℃
50±9%RH
50±10%RH
温湿度记录器
1次/班
成品库
23±3℃
23±4℃
50±19%RH
50±20%RH
温湿度记录器
1次/班
氮气柜
NA
NA
NA
0%~40%
温湿度记录器
1次/班
6.1.2 原材料库温湿度与室温同步，不做特殊管控。INK剂须在氮气柜中存放，避免直接光照。
6.1.3 颗粒相关要求参照下表。
管制区
级别
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
警戒界限
规格界限
警戒界限
规格界限
警戒界限
规格界限
警戒界限
规格界限
警戒界限
规格界限
警戒界限
规格界限
CP
1K
NA 内容过长，仅展示头部和尾部部分文字预览，全文请查看图片预览。 处理措施。
6.3.4 当质量人员确认环境恢复正常稳定后，方可通知相关部门解除异常，恢复生产。
6.3.5 若厂区停电造成机台、环境控制设备停止运行，通知设备技术人员拔插头断电等待复电。待复电后环境控制设备开始重新运行，质量人员随即对环境进行量测，温湿度及洁净度未达标前禁止生产，直到温湿度及洁净度都符合标准时方可通知生产部/设备部重启机台进行正常生产。（少于等于4小时的停电，对洁净度复测要求：随机采集三个量测点位数据做对比，用以判断是否达到标准要求；超4小时外的停电需要由厂务部安排人员做一次全粒径的微尘量测量并记录、保存。）。
6.4 不合格环境量产产品的监控
6.4.1当环境管控项目超出规格界限时，就异常发生当时影响机台范围内的量产批流程卡上注明“环境异常影响批次”。环境管控项目超出规格界限的追溯范围为Wafer、及未测试的IC。
6.4.2 当环境管控项目超出规格界限，在状况恢复后重新量产前，工程单位须对量产中的机台状况确认。
6.4.3 质量人员检验站别须对已标注“环境异常影响批次”的量产批加强检验氧化现象。
【对于受影响Wafer，每批五片验一片(0收1退)，每片检验9区，每区6个晶粒（0收1 退）】
6.4.4 库房晶圆储存柜异常处理： 库房晶圆储存柜每层抽一批产品重新检验，主要检验项目：PAD氧化。检验发现异常，库房所有的Wafer重新批退回产线，每片全检确认。
7.0 附件
温湿度测量点
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