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SIN 波导材料性质介绍
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相比之下，氮化硅是一种具有适中折射率差的CMOS兼容材料。其优点具体是氮化硅波导在通信波长范围内几乎不会存在自由载流子吸收；并且其最低阶非线性极化率比硅大约小20倍，这意味着氮化硅波导可以承受比SOI光波导更高的光功率；此外由于氮化硅 内容过长，仅展示头部和尾部部分文字预览，全文请查看图片预览。 。SiN波导的热光系数小、加工容差性强、可工作在可见光波段等优势也使得其在一些特定器件中性能优于Si波导。但是光信号的调制与探测还是必须通过Si波导来完成。因此，SiN波导可以作为Si波导一个比较好的补充，用于一些特定的器件设计。
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